マスフローメーター - 流量計、マスフローメーターのイソニック

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マスフローメーター
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Alicat Scientific ISO 9001：2000取得→
Traceability Charty→
テクニカルノート→
ラミナーフロー方式によるマスフローメーターの製造元であるアリキャット社、NASAの技術が活かされています。
 アプリケーションレポート

■豊富な機種により微少流量（0.005ｍｌ/min）より大流量（2000Ｌ/min)まで計測可能！
■1台で混合ガスを含めて30種類のガスに対応。 腐食性ガスにも対応可能。


　特 徴　
広い計測範囲。ターンダウン比100：1
早い応答速度（１０ms）
高精度 （+/-0.8％Reading +/-0.2％FS）
液晶表示器を標準装備 （質量流量、容積流量、圧力、温度を同時表示）
NIST(アメリカ国立標準技術研究所)トレーサブル検査成績証付
RS-232C,RS-485,PROFIBUS,DeviceNetなどの通信に対応可能。
アナログ出力 DC0〜5V, DC0〜10V, DC4〜20mAに対応可能。
ガス選択モード標準装備
可燃性ガス計測に熱線を使用しない安心設計
マスフローメーター


　測定原理　
Ａｌｉｃａｔマスフローメーターにはラミナーフローエレメントが組み込まれており、ガスは規則正しいラミナーフロー（層流）を形成して流れます。入口、出口において小さな圧力計が差圧を測定し、次のポアズイユの式により流量を求めることが出来ます。
マスフローメーターはさらに標準圧力/標準温度に換算してマスフローを求めています。


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　仕　様　

精度 ±0.8% Reading ±0.2% F.S.
高精度オプション (*1) ±0.4% Reading ±0.2% F.S.
繰り返し精度 ±0.2% F.S.
動作範囲 1〜100% F.S.
測定比 (ターンダウン比) 100:1
応答速度 10ms
温度範囲 -10〜50℃
湿度範囲 0〜100%
ゼロシフト 0.02% F.S./℃/Atm
スパンシフト 0.02% F.S./℃/Atm
測定可能流量 128% F.S.
最大圧力 0.7MPa
デジタル出力 RS-232C / RS-485 / PROFIBUS / DeviceNet (*3)
出力データ：質量流量、容積流量、圧力、温度
アナログ出力 DC0〜5V
出力データ：質量流量
アナログ出力
（オプション）		 DC0〜5V / DC0〜10V / DC4〜20mA
出力データ：質量流量、容積流量、圧力、または温度
コネクター ミニDINコネクター(8ピン)、またはDサブコネクター(15ピン)
供給電圧 DC7〜30V (*2)
供給電流 40mA
ウォームアップ時間 1秒以下
接液面材質
Mシリーズ		 303,302ステンレススチール,Viton(R),シリコーンRTV(天然ゴム),
ガラス強化ナイロン,アルミニウム
接液面材質
MSシリーズ		 316Lステンレススチール,FFKM(Kalrez) standard,Viton(R),
EPDM, Buna,Neoprene
(*1)高精度オプションは500SLPMまでのメーターに対応できます。
(*2)アナログ電流 DC4〜20mA出力にはDC15V以上の電圧が必要です。
(*3)PROFIBUS、またはDeviceNetを選択した場合、アナログ出力は使用できません。また、PROFIBUS、およびDeviceNet搭載機種には表示器が付いておりません。
　　　　　　　
メイン画面
メイン画面
ガスセレクション画面
ガスセレクション画面


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　対応ガス　
メーター内部に30種類のデータが登録されていますので、1台で30種類のガスに対応できます。
Air空気C2H4エチレン
Ar アルゴン i-C2H10イソブタン
CH4 メタン Kr クリプトン
CO 一酸化炭素Xe キセノン
CO2 二酸化炭素SF6 六フッ化硫黄
C2H6 エタン C-25 アルゴン75% + 二酸化炭素25%
H2 水素 C-10 アルゴン90% + 二酸化炭素10%
He ヘリウム C-8 アルゴン92% + 二酸化炭素8%
N2 窒素 C-2 アルゴン98% + 二酸化炭素2%
N2O 亜酸化窒素C-75 二酸化炭素75% + アルゴン25%
Ne ネオン A-75 アルゴン75% + ヘリウム25%
O2 酸素 A-25 ヘリウム75% + アルゴン25%
C3H8 プロパン A1025 He 90% + Ar 7.5% + CO2 2.5%
n-C4H10ブタン Star29 Ar 90% + CO2 8% + O2 2%
C2H2 アセチレンP-5 アルゴン95% + メタン5%

腐食性ガスにも対応可能です。(MSシリーズ)
NO一酸化窒素 100%
NF3三フッ化窒素 100%
NH3アンモニア 100%
CI2塩素 100%
H2S硫化水素 100%
SO2二酸化硫黄 100%
プロピレン 100%
NO2不活性ガス 二酸化窒素 0.5%
冷媒ガス 100%
 マスフローメーター MSシリーズ

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　機　種　

機種名 測定範囲 寸法 (inch) 継手 圧力損失
M-0.5SCCM 0.005〜0.5ml/min H3.9 x W2.4 x D1.1 M-5(10-32) Female 6.89kPa
M-1SCCM 0.01〜1ml/min H3.9 x W2.4 x D1.1 M-5(10-32) Female 6.89kPa
M-2SCCM 0.02〜2ml/min H3.9 x W2.4 x D1.1 M-5(10-32) Female 6.89kPa
M-5SCCM 0.05〜5ml/min H3.9 x W2.4 x D1.1 M-5(10-32) Female 6.89kPa
M-10SCCM 0.1〜10ml/min H3.9 x W2.4 x D1.1 M-5(10-32) Female 6.89kPa
M-20SCCM 0.2〜20ml/min H3.9 x W2.4 x D1.1 M-5(10-32) Female 6.89kPa
M-50SCCM 0.5〜50ml/min H3.9 x W2.4 x D1.1 M-5(10-32) Female 6.89kPa
M-100SCCM 1〜100ml/min H4.1 x W2.4 x D1.1 1/8" NPT Female 6.89kPa
M-200SCCM 2〜200ml/min H4.1 x W2.4 x D1.1 1/8" NPT Female 6.89kPa
M-500SCCM 5〜500ml/min H4.1 x W2.4 x D1.1 1/8" NPT Female 6.89kPa
M-1SLPM 0.01〜1L/min H4.1 x W2.4 x D1.1 1/8" NPT Female 6.89kPa
M-2SLPM 0.02〜2L/min H4.1 x W2.4 x D1.1 1/8" NPT Female 6.89kPa
M-5SLPM 0.05〜5L/min H4.1 x W2.4 x D1.1 1/8" NPT Female 6.89kPa
M-10SLPM 0.1〜10L/min H4.1 x W2.4 x D1.1 1/8" NPT Female 6.89kPa
M-20SLPM 0.2〜20L/min H4.1 x W2.4 x D1.1 1/8" NPT Female 6.89kPa
M-50SLPM 0.5〜50L/min H4.4 x W4.4 x D1.6 1/4" NPT Female 13.79kPa
M-100SLPM 1〜100L/min H4.4 x W4.4 x D1.6 1/4" NPT Female 17.23kPa
M-250SLPM 2.5〜250L/min H5.0 x W4.0 x D1.6 1/2" NPT Female 27.57kPa
M-500SLPM 5〜500L/min H5.0 x W4.0 x D1.6 3/4" NPT Female 37.92kPa
M-1000SLPM 10〜1000L/min H5.0 x W4.0 x D1.6 3/4" NPT Female 41.36kPa
M-1500SLPM 15〜1500L/min H5.0 x W4.0 x D1.6 3/4" NPT Female 62.05kPa
M-2000SLPM 20〜2000L/min H5.3 x W5.2 x D2.9 3/4" NPT Female 34.47kPa
　　　　　　　

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