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マスフローメーター(アリキャット社)
豊富な機種により微少流量(0.005ml/min)より大流量(2000L/min)まで計測可能です。1台で30種類(空気、水素、窒素、酸素、ヘリウム、アルゴン、ネオン、炭酸ガス、メタン、エタン、プロパン、一酸化炭素、一酸化窒素)のガスに対応 できます。
マスフローコントローラー(アリキャット社)
豊富な機種により微少流量(0.005ml/min)より大流量(2000L/min)まで計測制御可能です。1台で30種類(空気、水素、窒素、酸素、ヘリウム、アルゴン、ネオン、炭酸ガス、メタン、エタン、プロパン、ブタン一酸化炭素、一酸化窒素)のガスに対応できます。